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避免提拉系统的晃动是单晶炉结构设计的关键点之一。在生产实际中发现，某型号单晶炉的提拉系统在工作转速接近13~14r/min范围时，提拉系统的软轴会出现明显的晃动，这个问题一直制约着晶体生长的质量和生产效率的提高。以前虽然提出过很多的解决措施，但其效果均不明显。本文拟采用有限元分析的方法，对单晶炉的提拉系统进行分析。

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加热后工件随炉冷却 C． 井式炉 D． 罩式炉（主要用于退火，加热罩可吊移）　E． 底升式罩式炉（罩子固定，升降底座。用作退火之用周期式电阻炉的分类A． 箱式炉 B． 台车炉（分为自行式和牵引式）适用于大型炉子）F． 转筒式炉 G． 密封箱式炉（又称为多用炉这样的结构使炉内气氛对加热元件不会有影响）。单晶硅生长炉（TDR85/95/105-JN）国外以美国KAYEX为代表，生产全自动硅单晶体生长炉。太阳能光伏发电站和风力发电站的相关设备。具有自主知识产权。生产的单晶硅生长炉（TDR85/95/105-JN）其中硅单晶生长炉设备有两大系列三个品种KAYEX是目前上大该生长的硅晶体生长炉从抽真空－检漏－熔料－引晶－放肩－等径－收尾到关机的全过程由计算机实行全自动控制。晶体产品的完整