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加热后工件随炉冷却 C. 井式炉 D. 罩式炉(主要用于退火,加热罩可吊移) E. 底升式罩式炉(罩子固定,升降底座。用作退火之用周期式电阻炉的分类A. 箱式炉 B. 台车炉(分为自行式和牵引式)适用于大型炉子)F. 转筒式炉 G. 密封箱式炉(又称为多用炉这样的结构使炉内气氛对加热元件不会有影响)。
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单晶炉,全自动直拉单晶生长炉,是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶硅炉型号有两种命名方式,一种为投料 投料量决定,85炉则是指主炉筒的直径大小。单晶硅炉的主体构成由主机、加热电源和计算机控制系统三大部分组成。单晶硅片工艺流程硅,Si,地球上含硅的东西很多,好像90%以上都是晶硅的,也是单晶硅。太阳能级别的硅纯度6N以上可以了。始是石头,(石头都含硅),把石头加热,变成液态,再加热变成气态,把气体通过一个密封的大箱子,箱子里有N多的子晶加热,两头用石墨夹住,气体通过这个箱子,子晶会把气体中的一种吸符到子晶上,子晶慢慢变粗了,因为是气体变固体,所以很慢,一个月左右,箱子里有了很多长长的原生多晶硅。关电源高频化是其发展的方向,高频化使关电源小型化,并使关电源进入更广泛的应用领域,特别是在高新技术领域的应用,推动了关电源的发展前进,每年以超过两位数字的增长率向着轻,小,薄,低噪声,高可靠,抗干扰的方向发展。